OASys®

OASys^®

OLED 분석 시스템

· Laser Desorption / Ionization – Time of Flight(LDI-TOF) 기술을 이용하여 OLED 패널, 소재, 소자 등의 분석이 가능한 질량분석 장비
· 진공관 내에서 레이저에 의해 OLED 시료가 이온화되어 발생한 이온 입자의 운동성을 기반으로 질량 분포 스펙트럼 분석
· 극세초점 레이저 및 고정밀 스테이지를 적용하여 공간적 질량분포를 나타내는 Mass Imaging 데이터 측정 및 분석 가능
· 다양한 높이의 OLED 샘플 측정을 위한 Prep Station 및 Holder/Plate 제공
· 협소한 공간에도 설치가 가능하며, 소모품 비용이 저렴하고 다른 분석법에 비해 신속한 측정 가능

픽셀(Pixel) 별 질량 이미지

OASys®를 이용한 OLED 분석 논문 (세계디스플레이학회 SID 발표)

OASys®는 OLED 분석 및 검사용 LDI-TOF(Laser Desorption Ionization Time of Flight) 질량분석 장비로써, OLED 패널을 픽셀(Pixel) 단위로 직접 분석이 가능합니다.

OASys®는 당사가 직접 개발한 5㎛ 이하의 Spot Size까지 분석이 가능한 극세초점 레이저 광학계를 탑재하고 있으며, 전 세계에서 유일하게 장비 운영 소프트웨어를 최신 웹기술(node.js) 기반으로 개발하여 편의성과 확장성을 보유하고 있습니다.

아스타는 차세대 LDI-TOF 기반 OLED 분석 장비를 를 전 세계 최초로 개발에 성공하였습니다.

장비 (Specification)

TOF Flight Length	2.23m (Reflection), 1.29m (Linear)
Acceleration Voltage	±20kV (Positive ion 및 Negative ion 측정)
Vacuum Level	5 X 10-7 torr 이하 (Diaphragm Pump + Turbo Molecular Pump)
Digitizer	2.5GHz bandwidth, 10 bits, 5 GS/s
Laser	349nm 파장, 5ns 펄스 폭의 Nd:YLF UV 레이저
Ion Optics	Delayed Extractor, X & Y Deflector, Einzel Lens, Ion Gate, Reflector