- · 최대 10,000 spectra/sec의 빠른 스캔을 기반으로 이온 신호의 실시간 모니터링 가능
- · 가스 공정 최적화
- · 100 ppb의 낮은 농도 가스도 실시간 측정 가능
- · Res ~800 M/ΔM, 동위원소 이온을 명확하게 분석 가능
- · 넓은 측정 범위에서 평균 3 mDa 이하의 높은 질량 정확도 구현
- · 반도체 공정을 위한 빠른 공정 모니터링
GM-TOF
실시간 기체 분석 시스템
GM-TOF’s (장점)
실시간 모니터링
넓은 측정 범위, 높은 정확도
최대 10,000 spectra/sec의 빠른 스캔
낮은 농도의 가스에서 측정 가능
응용분야
식각가스 분석
불소를 포함한 다양한식각 가스(C₄F₆, Cyclo-C₄F₈, CH₂F₂ 등)의
모니터링 및 분석이 가능
무기물 및 금속계 가스 분석
실리콘이나 텅스텐과 같은 무기물 및 금속계 가스 분석이 가능
장비 (Specification)
| Ionization Methods | Electron Impact Ionization |
|---|---|
| Vacuum System | High Vacuum System |
| L×W×H | 400x650x1050 mm |
| Weight | 80 kg |