- · 基于最快每秒 10,000次谱图扫描，实现离子信号的实时监测
- · 优化气体工艺流程
- · 可实时检测浓度低至 100 ppb的气体
- · 质量分辨率约 800 M/ΔM，可清晰分析同位素离子
- · 在宽测量范围内实现平均小于 3 mDa的高质量精度
- · 用于半导体工艺的快速过程监控
GM-TOF
实时气体分析系统
GM-TOF (优点)
实时监测
宽测量范围，高精度
每秒最多10,000次快速扫描
可检测低浓度气体
应用领域
蚀刻气体分析
可监测和分析多种含氟蚀刻气体（C₄F₆、Cyclo-C₄F₈、CH₂F₂ 等)
无机及金属类气体分析
可分析如硅、钨等无机及金属类气体
设备(Specification)
| Ionization Methods | Electron Impact Ionization |
|---|---|
| Vacuum System | High Vacuum System |
| L×W×H | 400x650x1050 mm |
| Weight | 80 kg |